企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 辽宁 沈阳 |
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公司地址: | 沈阳市沈河区文化东路89号 |
铜阳极泥是铜电解精炼的副产品,产率一般为电铜产量的0.2%~1.0%,富含大量的稀有金属和,因而成为提取稀的重要原料[1~4]。铜阳极泥处理工艺主要有三大类:一类是占据统治地位传统火法工艺流程,主要包括:硫酸化焙烧蒸硒后酸浸脱铜-还原熔炼贵铅-氧化精炼分银-金银电解精炼-硒、碲提取几个步骤。
第二类是选冶联合处理工艺流程,芜湖纯银导电辊,主要包括:湿法分离铜、硒-浮选分离-精矿分银炉熔炼-金银电解精炼-尾矿提取锡铅等有价金属;第三类是湿法工艺流程。
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”,哪里有纯银导电辊, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,纯银导电辊厂家,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量:靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和性元素含量都有特殊要求。
此外,还会在涂层中引入杂质,并在后续渗铝期间在外层与互扩散过渡区之间形成氧化物夹杂(如氧化铝颗粒),出现在外层与互扩散层过渡区。铂铝涂层表面越光洁,其氧化铝生长速率越低,氧化膜粘结性越好,可通过优化工艺以降低铂的消耗量。因此,如果在单晶高温合金表面先电镀一层表面光滑致密的纳米晶镍层再电镀铂,既可以避免镀铂层缺陷,又可以获得表面光洁的铂层,而且有助于在渗铝过程中获得表面更光洁平整的铂铝改性涂层。
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