纯银靶材技术-陕西纯银靶材-沈阳东创【环保节能】(查看)

而未米的0.18um}艺甚至0.13m工艺，纯银靶材生产加工，所需要的靶材纯度将要求达到5甚至6N以上。铜与铝相比较，铜具有更高的抗电迁移能力及更低的电阻率，能够满足！导体工艺在0.25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题：铜与有机介质材料的附着强度低．并且容易发生反应，导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。

为了解决以上这些问题，需要在铜与介质层之间设置阻挡层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物，因此要求阻挡层厚度小于50nm，与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的．需要研制新的靶材材料。铜互连的阻挡层用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是难熔金属．制作相对困难，如今正在研究钼、铬等的台金作为替代材料。

采用连续式硫化法的情况下，不会有因切去加压成形产生的毛边或一般的挤压处理和在硫化处理槽内进行处理时橡胶管两端翘起的部分而导致的橡胶浪费，另外能够缩短制造时间和减少人工费用，纯银靶材哪家好，因此能够降低辊筒的制造成本，从这些方面考虑，此方法优于间歇式硫化法。

此外，硫化处理后，由于对每个辊筒都进行了剪切，所以基本上不会出现上述差别，纯银靶材技术，这样就可缓解长度方向的电阻值的不均匀。

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