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经营模式: | 生产加工 |
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纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量:靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和性元素含量都有特殊要求。
在铝化物涂层中加入Pt,增加了Al的扩散速率DAl,降低了其活度αAl,因而促进了Al从浓度较低的基体向浓度较高的涂层中的上坡扩散,减缓了涂层-基体互扩散所引起的铝贫化。Pt能够替代晶格中的Ni原子而降低涂层表面的Ni/Al比,广西纯银导电辊,降低形成保护性Al2O3膜的临界铝含量。Pt能够降低S的有害作用,避免氧化膜-金属界面处空洞的形成,提高氧化膜的粘附力。
利用金、银、铂、钯及其良好的延展性和良好的焊接性能,可以按照不同规格经过卷管、焊接、拉拔,纯银导电辊厂家,制造出内外光洁又符合直径要求的小批量(单件为多)的各种规格的管材,也可以拉拔成毛细管材。拉拔后成型的管材,哪家有纯银导电辊,与无缝管没有区别,作用无异。这是因为这种材料在焊接时的流动性相当,纯银导电辊哪家好,光学玻璃用的各种铂管材都是用这种方式制造,但在大批量生产某种规格的管材时,则会采纳穿孔后拉拔成型(例如银管)与无缝钢管的生产原理殊同。
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