企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 辽宁 沈阳 |
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公司地址: | 沈阳市沈河区文化东路89号 |
导电橡胶能够提供较高的打印密度。但导电橡胶的导电率是如此之高,以致其不能对色粉充电至较高程度。当仅仅将由金属氧化物组成的无机填料(D)作为填料与橡胶组分(A)混合时,导电橡胶能够得到降低色粉的物理粘附力的效果,但是不能将色粉充电至较高程度,因此不能提供足够的打印密度。如上所述,在独立地将填料(B)至(D)与橡胶组分(A)混和时,必须大量使用填料。
任何金属都不能达到纯。“超纯”具有相对的含义,是指技术上达到的标准。
由于技术的发展,香槟金靶材谁家好,也常使 “超纯”的标准升级。“超纯”的相对名词是指“杂质”,香槟金靶材哪家好,广义的杂质是指化学杂质(元素)及“物理杂质”(晶体缺陷),后者是指位错及空位等,而化学杂质是指基体以外的原子以代位或填隙等形式掺入。
但只当金属纯度达到很高的标准时(如纯度9以上的金属),物理杂质的概念才是有意义的,因此目前工业生产的金属仍是以化学杂质的含量作为标准,即以金属中杂质总含量为百万分之几表示。
而未米的0.18um}艺甚至0.13m工艺,香槟金靶材加工,所需要的靶材纯度将要求达到5甚至6N以上。铜与铝相比较,香槟金靶材,铜具有更高的抗电迁移能力及更低的电阻率,能够满足!导体工艺在0.25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。
为了解决以上这些问题,需要在铜与介质层之间设置阻挡层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,因此要求阻挡层厚度小于50nm,与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的.需要研制新的靶材材料。铜互连的阻挡层用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等.但是Ta、W都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬等的台金作为替代材料。
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