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发布时间:2022-03-15 03:54:00 作者:东创贵金属
众所周知,靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。如Ic制造商.近段时间致力于低电阻率铜布线的开发,预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜,这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓。另外,近年来平面显示器(FPD)大幅度取代原以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场.亦将大幅增加ITO靶材的技术与市场需求。此外在存储技术方面。高密度、大容量硬盘,高密度的可擦写光盘的需求持续增加.这些均导致应用产业对靶材的需求发生变化。下面我们将分别介绍靶材的主要应用领域,以及这些领域靶材发展的趋势。为了形成高质量图像,聚合色粉被广泛使用,以代替惯常使用的粉碎色粉。
各种纯度铝中的杂质含量及剩余电阻率如表2所示。超纯金属超纯的纯度也可以用剩余电阻率来测定,其值约为2×10-5。现代科学技术的发展趋势是对金属纯度要求越来越高。因为金属未能达到一定纯度的情况下,金属特性往往为杂质所掩盖。不仅是半导体材料,其他金属也有同样的情况,由于杂质存在影响金属的性能。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。
钨过去用作灯泡的灯丝,由于脆性而使处理上有困难,在适当提纯之后,这种缺点即可以克服(钨丝也有掺杂及加工问题)。
在深加工产品这一领域,如何来提升产品的技术含量和档次,纳米技术、纳米材料的科学研究,实践应用是这个产业向产业化发展的方向,成为当代关注和竞争的主要课题。
纳米、(nm)纳米技术、纳米材料是当代科技领域中的热门名词,已经成为现实和潜在的巨大的应用前景的纳米银线,已在山东、浙江、北京等地进入人们的视野,并进入国际市场,如果按照银的当前价7元/克计算的话,纳米银线的价格将是银价的350倍以上。
热压法:ITO靶材的热压制作过程是在石墨或氧化铝制的模具内充填入适当粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的压力单轴向加压,同时以1000℃~1600℃进行烧结。热压工艺制作过程所需的成型压力较小,烧结温度较低,烧结时间较短。但热压法生产的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均匀,从而影响了生产ITO薄膜的均匀性,且不能生产大尺寸的靶。压铸手表壳等精巧零件时,寿命可达5000次,一般为3000次,轴承生产中钨板,钼板,钨棒,钼棒,钨管,钼管,钨坩埚,钼坩埚采用钼合金模具比原高速钢、轴承钢模具寿命提高15倍。
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