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磁控溅射一般分为二种：直流溅射和射频溅射，其中直流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快。

而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。溅射靶材射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射，目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。

铜阳极泥是铜电解精炼的副产品，产率一般为电铜产量的0.2%~1.0%，富含大量的稀有金属和，因而成为提取稀的重要原料[1~4]。铜阳极泥处理工艺主要有三大类：一类是占据统治地位传统火法工艺流程，主要包括：硫酸化焙烧蒸硒后酸浸脱铜-还原熔炼贵铅-氧化精炼分银-金银电解精炼-硒、碲提取几个步骤。利用金、银、铂、钯及其良好的延展性和良好的焊接性能，可以按照不同规格经过卷管、焊接、拉拔，制造出内外光洁又符合直径要求的小批量（单件为多）的各种规格的管材，也可以拉拔成毛细管材。

第二类是选冶联合处理工艺流程，主要包括：湿法分离铜、硒-浮选分离-精矿分银炉熔炼-金银电解精炼-尾矿提取锡铅等有价金属；第三类是湿法工艺流程。

所以希望研究出一种环境友好的清洁处理方法。为此，采用碱化焙-浸脱硒-酸浸脱铜碲的工艺对该阳极泥进行预处理，有效地实现了硒、碲、铜的清洁分离。如果对预处理残渣中的金银通过湿法浸出回收，将有助于实现该阳极泥中稀散元素和金银的短流程清洁利用。

在湿法浸出工艺中，金银的***化浸出是主导工艺，但是阳极泥中的可溶性重金属较多，会使qing化物消耗剧增。